En del av de fordampede partiklene i vakuumbeleggmaskinen kolliderer med underlaget og reverseres
Legg igjen en beskjed
En del av de fordampede partiklene i vakuumbeleggmaskinen kolliderer med underlaget og reverseres
Etter at de fordampede partiklene kolliderer med underlaget, reverseres den ene delen, og den andre delen adsorberes. Overflatediffusjonen av adatomer skjer på overflaten av substratet, og todimensjonale kollisjoner oppstår mellom de avsatte atomene for å danne klynger, hvorav noen forblir på overflaten i en periode og deretter fordamper. Klynger av atomer kolliderer med diffuserende atomer, eller adsorberer eller frigjør enkeltatomer, og denne prosessen gjentas. Når antallet atomer overstiger en viss kritikalitet, blir det en stabil kjerne, og adsorberer deretter kontinuerlig andre og sammensatte atomer for gradvis å vokse, og smelter til slutt sammen med den tilstøtende stabile kjernen, og blir deretter en kontinuerlig film.
Fordampningsprosessen til vakuumbeleggmaskinen forbruker kontinuerlig den indre energien til beleggmaterialet
For å unnslippe fra overflaten av pletteringsmaterialet atomer eller molekyler i flytende eller fast fase av fordampningstermodynamikk, må de oppnå nok termisk energi og ha en stor nok termisk bevegelse. Når den kinetiske energien til hastighetskomponenten til dens vertikale overflate er tilstrekkelig til å overvinne energien til gjensidig tiltrekning mellom atomer eller molekyler, er det mulig å rømme fra overflaten og fullføre fordampning eller sublimering. Jo høyere oppvarmingstemperatur, jo større kinetisk energi til molekylene og jo større mengde partikler som fordamper eller sublimerer. Fordampningsprosessen forbruker kontinuerlig den indre energien til pletteringsmaterialet. For å opprettholde fordampningen må den termiske energien til pletteringsmaterialet tilføres kontinuerlig. Under fordampningsprosessen er åpenbart mengden av fordampning av pletteringsmaterialet (uttrykt som damptrykket over pletteringsmaterialet) nært knyttet til oppvarmingen (temperaturøkningen) av pletteringsmaterialet. Derfor er veksthastigheten til pletteringslaget nært knyttet til fordampningshastigheten til pletteringsmaterialet.
www.superbheater.com
