Konsept for enhetlighet av vakuumgalvanisering av tynne filmer for elektriske varmerør

Konsept for enhetlighet av vakuumgalvanisering av tynne filmer for elektriske varmerør

Prosessen med vakuumavsetning er veldig komplisert. På grunn av de forskjellige belegningsprinsippene kan den deles inn i mange typer. Den har et enhetlig navn bare fordi den trenger høyvakuum. Derfor, for vakuumavsetning med forskjellige prinsipper, er faktorene som påvirker enhetligheten også forskjellige. Og selve begrepet uniformitet har også forskjellige betydninger avhengig av beleggskalaen og filmsammensetningen.

Konseptet med ensartet film:

1. Ensartethet i tykkelse kan også forstås som ruhet. Fra perspektivet til optisk filmskala (det vil si 1/10 bølgelengde som en enhet, ca. 100A), er jevnheten i vakuumavsetningen ganske god, og ruheten kan lett kontrolleres innenfor 1/10 av bølgelengden for synlig lys, som betyr at det ikke er noen hindring for vakuumavsetning for filmens optiske egenskaper. Imidlertid, hvis det refererer til ensartetheten på atomlagskalaen, det vil si å oppnå 10A eller til og med 1A overflateflathet, er det det viktigste tekniske innholdet og den tekniske flaskehalsen i vakuumavsetning. De spesifikke kontrollfaktorene vil bli forklart i detalj i henhold til forskjellige belegg.

2. Ensartethet av kjemisk sammensetning: det vil si i filmen vil atomsammensetningen til forbindelsen lett gi uensartede egenskaper på grunn av den lille størrelsen. Hvis belegningsprosessen av SiTiO3-film ikke er vitenskapelig, er den faktiske overflatesammensetningen ikke SiTiO3, men kan være andre eksempler. Den belagte filmen er ikke den kjemiske sammensetningen av den ønskede filmen, som er der det tekniske innholdet av vakuumavsetning ligger.

3. Ensartethet i gitterrekkefølgen: Dette bestemmer at filmen er enkrystall, polykrystallinsk og amorf, noe som er et varmt problem i vakuumavsetningsteknologi. Se nedenfor for detaljer.

Det er to hovedkategorier: fordampende avsetningsbelegg og forstøvningsavsetningsbelegg, inkludert mange typer, inkludert vakuumionfordampning, magnetronforstøvning, MBE molekylær stråleepitaksi, solgelmetode, etc.

www.superbheater.com