Forklaring av temperaturkalibreringsteknologi for høytemperaturglødeovnstermometer

Det er rapportert at høytemperaturglødingsovnen bruker et lukket sløyfekontrollsystem som består av en akselerert digital PLD-temperaturkontroller, termoelement, pyrometer og varmekilde for å kontrollere temperaturen korrekt. Ved samarbeidskontroll av halogenlamper i forskjellige regioner, kan temperaturforskjellen i hver region kompenseres under temperaturkontrollprosessen, og holde temperaturen i forskjellige regioner på underlaget uendret. På grunn av installasjonen i bunnen av hulrommet, kan pyrometeret bare motta stråling fra baksiden av underlaget og kan ikke motta stråling fra lampen. Derfor kan et pyrometer nøyaktig måle temperaturen på underlaget. Temperaturkalibreringsprinsippet til dette pyrometeret er som følger:
1. Introduksjon til Pyrometer:
Pyrometeret introdusert i denne artikkelen er et optisk pyrometer for termisk stråling. Når pyrometeret mottar infrarød stråling fra det målte objektet, blir det optiske signalet filtrert, fotoelektrisk konvertert og forsterket til å bli et analogt signal, som deretter overføres til signalgrensesnittkretsmodulen til sensoren. Denne modulen utfører A/D-konvertering på signalet og konverterer det til et digitalt signal som kan gjenkjennes av datamaskinen. Det digitale signalet som føres tilbake til datamaskinen blir referert til som pyrometerets tilbakemeldingsverdi i den følgende teksten.
2. Temperaturkalibreringstabell:
I henhold til relevante lover er temperaturen til et objekt relatert til dets stråling og spektrale emissivitet. For høytemperaturglødeovner avhenger mengden stråling som mottas av pyrometeret hovedsakelig av faktorer som substratmateriale, doping, naturlig oksidlag på overflaten og substrattemperatur. For samme type substrat (dvs. substrater med samme materiale, doping og overflate naturlig oksidlag), er mengden stråling som mottas av pyrometeret relatert til substrattemperaturen. Derfor, for samme type substrat, tilsvarer tilbakekoblingsverdien til pyrometeret en-til-en med substrattemperaturen. Denne korrespondansen utgjør temperaturkalibreringsdata, og en temperaturkalibreringstabell brukes til å lagre forholdsdata mellom flere substrattemperaturer og tilbakemeldingsverdier fra et pyrometer. Ulike temperaturer tilsvarer forskjellige tilbakemeldingsverdier for pyrometeret. Høytemperatur-glødeovnsdatamaskinen kan beregne den faktiske temperaturen til underlaget basert på signalverditilbakemeldingen fra pyrometeret og temperaturkalibreringstabellen.