Hardhet og elastisitetsmodul av vakuum sølvbelegg
Legg igjen en beskjed
Hardhet og elastisitetsmodul av vakuum sølvbelegg
S-4800 (Hitachi, Japan) skanningselektronmikroskop (SEM) ble brukt til å observere bruddstrukturen og overflatemorfologien til TiCN-filmer, og røntgenenergispredningsspektrometer (EDS) festet til instrumentet ble brukt til å analysere elementinnholdet i filmene. Fasesammensetningen og kornstørrelsen til belegget ble analysert med X'PertPro (Philips, Holland) røntgendiffraksjon (XRD) apparatur. Hardheten og elastisitetsmodulen til beleggene ble analysert ved bruk av NanoIndenterXP-testsystemet (Agilent, Amerika). Samtidig ble innrykkmetoden og ripemetoden brukt for å evaluere bindingsstyrken til filmen og underlaget. Innrykkmetoden brukte HR-150En Rockwell hardhetstester med en belastning på 150 kg; skrapemetoden brukte HH-3000 skrapetester med en stoppbelastning på 100N. Den vertikale boremaskinen Z5135 ble brukt til å utføre kuttetesten på kranen. Spindelhastigheten til boremaskinen var 530r/min, materialet som skulle tappes var 40Cr bråkjølt og herdet stål, og hardheten etter bråkjøling og herding var HRC29-32.
Vakuum forsølvet høyhastighetsstål som basismateriale
M2 høyhastighetsstål er valgt som basismateriale, prøvestørrelsen er 6mm × 6mm × 10mm, og flere kraner av samme materiale med spesifikasjonen Φ10mm er klargjort for kuttetesten. Sputtermålmaterialene er ett par titanmetallmål (renhet 99,99 prosent) og grafittmål (renhet 99,99 prosent), og de to typene mål (4 mål) er vekselvis og jevnt anordnet på den indre veggen av belegningskammeret. Før belegning ble overflaten av prøven slipt for å fjerne makroskopiske riper som var synlige for det blotte øye, og polert til en speiloverflate. Deretter ble kranen og prøven sandblåst for å fjerne forurensning av det overfladiske laget. Etter ultralydrensing ble den tørket og installert i ovnen. Evakuer til 9,0×10-3Pa, forvarm arbeidsstykket i 60 minutter, og bruk deretter effekten av argonionbombardement til å etse og rengjøre underlaget under negativ skjevhet i 30 minutter. For å forbedre bindingsstyrken mellom den tynne filmen og substratet, avsettes et Ti-metallovergangslag på substratet av Ti-metallblokken i fordampningsdigelen. Til slutt, under et trykk på 4,5×10-1Pa, ble TiCN-tynne filmer fremstilt ved å sputtere grafittmål og titanmål i 3 timer. Avkjøl i 1 time etter belegning, og ta ut prøven.
www.superbheater.com
