Påvirkningsfaktorer for forgiftning av vakuumforsølvede mål

Påvirkningsfaktorer for forgiftning av vakuumforsølvede mål

Hovedfaktoren som påvirker målforgiftning er forholdet mellom reaktiv gass og sputtergass. For mye reaktiv gass vil føre til målforgiftning. Under den reaktive sputteringsprosessen dekkes sputterkanalområdet på måloverflaten av reaksjonsproduktet eller reaksjonsproduktet skrelles av for å eksponere metalloverflaten igjen og igjen. Hvis hastigheten på forbindelsesdannelsen er større enn hastigheten med hvilken forbindelsen strippes, øker arealet som dekkes av forbindelsen. Ved en viss kraft øker mengden reaksjonsgass som deltar i dannelsen av forbindelsen, og forbindelsesdannelseshastigheten øker. Hvis mengden reaktiv gass øker for mye, øker området som dekkes av forbindelsen. Hvis strømningshastigheten til den reaktive gassen ikke kan justeres i tid, kan ikke økningshastigheten i området dekket av forbindelsen undertrykkes, og sputterkanalen vil bli ytterligere dekket av forbindelsen. Når sputtermålet er fullstendig dekket av forbindelsen Når målet er fullstendig forgiftet.

Dannelse av metallforbindelser på måloverflaten av vakuumforsølvbelegg

I prosessen med å danne forbindelsen fra metallmåloverflaten gjennom den reaktive sputteringsprosessen, hvor dannes forbindelsen? Siden de reaktive gasspartiklene kolliderer med atomene på måloverflaten for å generere kjemisk reaksjon for å generere sammensatte atomer, som vanligvis er en eksoterm reaksjon, må varmen som genereres av reaksjonen ha en måte å lede på, ellers kan ikke den kjemiske reaksjonen fortsette. Varmeoverføring mellom gasser er umulig under vakuum, så kjemiske reaksjoner må finne sted på en fast overflate. Reaktive sputteringsprodukter utføres på måloverflater, substratoverflater og andre strukturerte overflater. Å generere forbindelser på underlagets overflate er vårt mål. Å generere forbindelser på andre overflater er sløsing med ressurser. Generering av forbindelser på måloverflaten var i utgangspunktet en kilde til sammensatte atomer, men ble senere en hindring for kontinuerlig å tilføre flere sammensatte atomer.

www.superbheater.com