Struktur og egenskaper til TiCN-tynne filmer tilberedt ved vakuumsølvforstøvning
Legg igjen en beskjed
Struktur og egenskaper til TiCN-tynne filmer tilberedt ved vakuumsølvforstøvning
TiCN-tynne filmer ble fremstilt på M2 høyhastighets stålsubstrater ved å co-sputtere grafittmål og titanmål under en blandet atmosfære av nitrogen og argon. Hardheten til den tynne TiCN-filmen ble oppdaget, og innrykkmetoden og ripemetoden ble brukt for å evaluere bindetilstanden til den tynne filmen og underlaget. Kuttetesten av TiCN tynnfilmkranen ble utført for å undersøke holdbarheten til TiCN tynnfilmen. Resultatene viser at C-atomene i TiCN-filmen eksisterer i form av fast løsning i TiN-gitteret, orienteringen til TiCN-filmen på (111) krystallplanet er betydelig svakere enn TiN-filmen, og bruddet på TiCN-filmen er en lang blokkstruktur, og dens sidedimensjon er større enn TiN-filmen. Filmen er liten, og overflaten på TiCN-filmen er ujevn. Bindekraften mellom TiCN-filmen og underlaget er omtrent 40N. C-atomer i TiCN-filmen har effekten av styrking av fast løsning og styrking av kornforfining. Hardheten til TiCN-filmen økes fra 20,3 til 33,4GPa av TiN-filmen. TiCN-film har gode anti-friksjonsegenskaper, og levetiden til TiCN-filmkraner ved tapping av 40Cr-materiale er betydelig lengre enn TiN-filmkraner og ubestrøket kraner.
Klargjøring av TiCN-tynne filmer ved å vakuumforsølve Solid C-kilde
For tiden bruker de fleste PVD-metodene CH4 eller C2H2 som C-kilde for å fremstille TiCN-tynne filmer. Under forberedelsesprosessen kan TiCN-tynne filmer med forskjellige elementinnholdsforhold og forskjellige egenskaper oppnås ved å justere gassstrømforholdet. Problemet med denne metoden er imidlertid at overflødig karbonkildegass vil forårsake alvorlig forurensning av den indre strukturen til belegningsmaskinens ovnskropp, og det gjenværende karbonløse laget på ovnsveggen vil frigjøres under neste belegningsprosess, som vil forstyrre avsetningsatmosfæren i filmen. Kontinuerlig produksjon er ugunstig, og fører ofte til ustabil ytelse av tynnfilmarbeidsstykker i industriell produksjon.
www.superbheater.com
