Deformasjonen og kompensasjonen av vakuumkammeret til vakuumbeleggeren ble testet

Deformasjonen og kompensasjonen av vakuumkammeret til vakuumbeleggeren ble testet

For å verifisere resultatene av den endelige elementberegningen, ble deformasjonen og kompensasjonen av vakuumkammeret testet. Det første trinnet er å plassere de fire måleindikatorene på utsiden av vakuumveggen til arbeidsbenkens basispunkt. Når vakuumkammeret er evakuert fra atmosfæren til vakuumet, registrerer du endringen av hver skiveindikator. Kollimatoren justerer deformasjonskompensasjonen.

Den horisontalt justerte autokollimatoren sender ut en laserstråle gjennom glassvinduet til vakuumkammeret for å lyse opp reflektoren festet på arbeidsbordet, og justere formings- og kompensasjonsjusteringsmekanismen i det atmosfæriske miljøet, slik at den reflekterte strålen kommer inn i mottaksfeltet av utsikt over autokollimatoren. , registrer det todimensjonale vinkelavviket.

Cathode Arc Technology of Vacuum Coater

Katodebueteknologien til vakuumbeleggmaskinen er en teknologi som bruker lysbueutladning i et vakuummiljø for å fordampe og ionisere det faste katodemålet, og deretter fly til overflaten av anodesubstratet for å avsette en film gjennom den styrkende effekten av plasmaet. . På grunn av dette har katodisk lysbueteknologi ekstremt høye avsetningshastigheter.

Vakuumbeleggmaskinen kan passivt utføre dynamisk beskyttelse

Vakuumbeleggmaskinen har en selvkontrolldeteksjonsenhet, som passivt kan utføre dynamisk beskyttelse. I selve søknadsprosessen, for å studere og forbedre deteksjonsenheten, tatt i betraktning at temperaturen påvirker adsorpsjons- og absorpsjonsytelsen til filtermaterialet, vil enheten bli plassert i et luftkondisjonert rom. Fuktighet påvirker fuktabsorpsjonen av filtermaterialer på den ene siden, og påvirker absorpsjonsytelsen til reagenser, noe som krever streng kontroll. Den bestemmes i henhold til katalysatormålerøret og den spesifikke hastigheten. Strømningshastigheten er omvendt proporsjonal med den dynamiske beskyttelsestiden, og reagenskonsentrasjonen er også omvendt proporsjonal med den dynamiske beskyttelsestiden. Svingningen vil også påvirke bestemmelsen av endepunktet.

For å oppfylle kravene vil det fra tid til annen bli gjort ulike forbedringer. Hovedaspektet er at temperatur- og fuktighetssensoren E pluss E29 brukes til å erstatte våt- og tørrpærehygrometeret. Jetpumpeteknologien realiserer jevn blanding av reagensene i lang tid og konsentrasjonen er stabil under det lavere reagenstrykket.

www.superbheater.com