Sannsynligheten for å avsette Al-film på substratet til vakuumbeleggeren er lik
Legg igjen en beskjed
Sannsynligheten for å avsette Al-film på substratet til vakuumbeleggeren er lik
Elektronstrålefordampningen til vakuumbeleggmaskinen brukes, planetmekanismen roterer jevnt når filmen avsettes, og sannsynligheten for hvert substrat ved avsetning av Al-film er lik; fokuset til den planetariske mekanismen er ved digelens fordampningskilden, og avsetningshastigheten til hvert substrat er under en viss grad av vakuum. nesten lik. Ved å bruke vakuumbeleggmaskinens magnetronforstøvningsbeleggmetode, siden avsetningsstrømmen og målspenningen kan kontrolleres, det vil si at sputterkraften kan justeres og kontrolleres, er kontrollerbarheten og repeterbarheten til filmtykkelsen god, og den kan brukes på større flater. En film med jevn tykkelse ble oppnådd.
Tykkelsen på Al-filmen til vakuumbeleggmaskinen vil direkte påvirke andre egenskaper til Al-filmen
Det er veldig viktig å strengt kontrollere tykkelsen på Al-filmen, fordi tykkelsen på Al-filmen vil direkte påvirke andre egenskaper til Al-filmen, og dermed påvirke påliteligheten til halvlederenheten. For kraftrøret med høyt mottrykk er arbeidsspenningen høy og strømmen stor. Uten en viss tykkelse på metallfilmen vil strømtettheten på Al-filmen per arealenhet være for høy, noe som er lett å brenne. For generelle halvlederenheter, hvis Al-laget er for tynt, er kontinuiteten til filmen dårlig, og den har en øy- eller maskestruktur, som gjør det vanskelig å binde ledningene, noe som gjør det vanskelig å binde eller svakt binde, og dermed påvirke utbyttet; Al-laget Hvis det er for tykt, kan ikke mønsteret ses tydelig under fotolitografi, noe som gjør korrosjon vanskelig og er utsatt for kantkorrosjon og "forbindelses"-fenomen.
www.superbheater.com
