Vakuumbeleggmaskinen er reaksjonen ikke bare skjer på overflaten av delen

Vakuumbeleggmaskinen er reaksjonen ikke bare skjer på overflaten av delen

Den magnetronreaktive sputteringen av isolatorer virker enkel, men selve operasjonen er vanskelig. Hovedproblemet er at reaksjonen ikke bare skjer på overflaten av delen, men også på anoden, overflaten av vakuumkammeret og overflaten til målkilden. Derved forårsaker brannslukking, målkilde og arbeidsstykkeoverflatebue og så videre. Tvillingmålkildeteknologien oppfunnet av Leybold i Tyskland løser dette problemet veldig bra. Prinsippet er at et par målkilder er katoden og anoden til hverandre, og eliminerer dermed oksidasjonen eller nitreringen av anodeoverflaten. Avkjøling er nødvendig for alle kilder (magnetron, multi-bue, ioner), fordi en stor del av energien omdannes til varme. Hvis det ikke er kjøling eller utilstrekkelig kjøling, vil denne varmen få målkildetemperaturen til å nå mer enn 1,000 grader og smelte hele målkilden. .

Vakuumbeleggeren oppfant magnetronreaktiv sputtering

Det er enkelt å sputtere metaller og legeringer med magnetronmålkilder, og tenning og sputtering er praktisk. Dette er fordi målet (katoden), plasmaet og vakuumkammeret til den sputterede delen kan danne en krets. Men hvis sputtering isolatorer som keramikk, er kretsen brutt. Så folk bruker høyfrekvent strømforsyning, og legger til en sterk kondensator til sløyfen. På denne måten blir målmaterialet en kondensator i isolasjonskretsen.

Imidlertid er den høyfrekvente magnetronforstøvningsstrømforsyningen dyr, sputterhastigheten er veldig liten, og jordingsteknologien er veldig komplisert, så det er vanskelig å bruke den i stor skala. For å løse dette problemet ble magnetronreaktiv sputtering oppfunnet. Det vil si å bruke et metallmål, tilsette argon og en reaktiv gass som nitrogen eller oksygen. Når metallmålet treffer delen, kombineres det med den reaktive gassen for å danne nitrider eller oksider på grunn av energiomdannelse.

www.superbheater.com