Vakuumgraden til vakuumbeleggmaskinen påvirker beleggeffekten direkte

Vakuumgraden til vakuumbeleggmaskinen påvirker beleggeffekten direkte

Vakuumbeleggutstyr lekkasjedeteksjonsmetode Vakuumbeleggmaskinprodusenter introduserer inspeksjon av luftlekkasje er et inspeksjonstiltak for å sikre vakuumgraden av vakuumbeleggutstyr, referert til som lekkasjedeteksjon, graden av vakuum påvirker beleggeffekten direkte, så lekkasjedeteksjon er vesentlig Mindre.

Generelt genereres luftlekkasjen i vakuumkammeret fra noen små hull på kammerveggen eller koblingsposisjonsåpningene før komponentene. Når luftavtrekkssystemet evakueres, synker trykket i vakuumkammeret, og trykkforskjellen mellom utsiden og innsiden gjør at gassen slipper ut av høytrykket. Utsiden strømmer inn i vakuumkammeret med lavt trykk, noe som får vakuumgraden til å synke.

Vakuumbeleggerens elektronstråle kan treffe kanten av digelen

I tilfelle av unormalt vakuumbeleggutstyr, når strålestrømmen økes, kan elektronstrålen treffe kanten av digelen fordi posisjonen til strålepunktet ikke er i sentrum, eller posisjonen til stråleflekken er i sentrum , men det fordampede materialet penetreres osv. , vil det ikke være indikasjon på høyt trykk. Dette er fordi høyspenningsutgangen er tilnærmet kortsluttet, noe som fører til at elektronstrålestrømmen blir større enn den forhåndsbestemte verdien, og hovedbryterrøret er i avskjæringstilstand og bærer all høyspenningen, slik at den høye -spenning har ingen utgang. På grunn av den for store strålestrømmen forårsaket av tenningen, får overstrømsignalet som oppnås i strømdeteksjonskretsen R21 D13-regulatorrøret til å bryte sammen og lede, BG14, BG15 og BG16 er i ledende tilstand, og C13 utlades gjennom BG14 og R51 . La BG11, BG12, BG13 kuttes snart, BG11-utgangen er 0V. BG10 på gatespenningsbryterkretsen får inngangssignalet på 0V og slås av, BG9 slås på umiddelbart, den positive terminalen på 550V er koblet til katoden til hovedbryterrøret gjennom BG9, og den negative terminalen er koblet til porten til hovedbryterrøret gjennom D5-rør. Få -550V-bias og skriv inn dybdeavskjæringen, på dette tidspunktet er det ingen indikasjon på høy spenning.

www.superbheater.com