Vakuum forsølvet høyhastighetsstål som basismateriale

Vakuum forsølvet høyhastighetsstål som basismateriale

M2 høyhastighetsstål er valgt som basismateriale, prøvestørrelsen er 6mm × 6mm × 10mm, og flere kraner av samme materiale med spesifikasjonen Φ10mm er klargjort for kuttetesten. Sputtermålmaterialene er ett par titanmetallmål (renhet 99,99 prosent) og grafittmål (renhet 99,99 prosent), og de to typene mål (4 mål) er vekselvis og jevnt anordnet på den indre veggen av belegningskammeret. Før belegning ble overflaten av prøven slipt for å fjerne makroskopiske riper som var synlige for det blotte øye, og polert til en speiloverflate. Deretter ble kranen og prøven sandblåst for å fjerne forurensning av det overfladiske laget. Etter ultralydrensing ble den tørket og installert i ovnen. Evakuer til 9,0×10-3Pa, forvarm arbeidsstykket i 60 minutter, og bruk deretter effekten av argonionbombardement til å etse og rengjøre underlaget under negativ skjevhet i 30 minutter. For å forbedre bindingsstyrken mellom den tynne filmen og substratet, avsettes et Ti-metallovergangslag på substratet av Ti-metallblokken i fordampningsdigelen. Til slutt, under et trykk på 4,5×10-1Pa, ble TiCN-tynne filmer fremstilt ved å sputtere grafittmål og titanmål i 3 timer. Avkjøl i 1 time etter belegning, og ta ut prøven.

Blandet atmosfære av nitrogen og argon for vakuumforsølv

I stedet for CH4 eller C2H2 ble TiCN-filmer fremstilt ved å co-sputtere grafittmål og titanmål i en blandet atmosfære av nitrogen og argon, og sammensetningen, strukturen, hardheten og bindingsstyrken til TiCN-filmene oppnådd under denne fremstillingsmetoden ble analysert og analysert. Samtidig ble den praktiske anvendelsen av TiCN-filmer avsatt på overflaten av høyhastighets stålkraner ved denne metoden undersøkt.

www.superbheater.com