Vakuumforsølving avhenger av den faktiske kjemiske sammensetningen til målmaterialet som skal sputteres

Vakuumforsølving avhenger av den faktiske kjemiske sammensetningen til målmaterialet som skal sputteres

Som de fleste prosesskontrollforhold avhenger effekten i stor grad av den faktiske kjemiske sammensetningen og fysiske egenskapene til målmaterialet som skal forstøves og prosessforholdene knyttet til avsetningen. Vanligvis er slike subtile effekter ikke lenger en bekymring for mindre geometriske sputtermål med mindre gradienter. For større mål med store temperaturgradienter og store endringer i termodynamikken og kinetikken til diffusjonsprosessen, kan høyere indre spenninger i målet også føre til sprekkdannelse av målet (igjen avhengig av de mekaniske egenskapene knyttet til den herdede sammensetningen). ), til og med flasser av når det hydrauliske trykket i sintringsoperasjonen slippes.

Vakuumforsølvplasma vil gi fast energi

Siden trykket som påføres av karbonstangen på materialet påføres ensrettet over hele overflaten av måloverflaten, oppstår en termisk diffusjonsgradient over tid. Resultatet er en grad av ujevnhet i tetthet over det herdede målet. Dette resulterer i spenningsforskjeller i målmaterialet og endringer i sputterutbytte under avsetning. Ved en gitt effekttetthet vil plasmaet gi en fast energi som inneholder den konstante hastigheten til ionene som finnes i plasmaet. De momentumfikserte ionene treffer måloverflaten jevnt. Imidlertid, hvis målmaterialet består av atomer med forskjellige bindingsenergier, vil forskjellige sputterfrekvenser resultere. For ulike kollisjonsplasseringer på måloverflaten, sputteres flere eller færre atomer av målmaterialet fra måloverflaten som en funksjon av ionekollisjoner.

Temperaturforskjellen dannet gjennom materialet under sintringsprosessen med vakuumforsølvbelegg

I den gitte modellen for varmpressing nevnte vi at varmen ledes av en varmeovn plassert i eller rundt karbonformen som inneholder det første pulveret som skal herdes. Når varmeelementet aktiveres, varmer det sakte opp karbonformen og til slutt pulveret i formhulen. Samtidig komprimeres pulveret mekanisk med en hydraulisk presse gjennom et sett med geometrisk motstående karboninnrykkere. Dette betyr at varmen som genereres fra varmeelementet, må ledes gjennom karbonformen til pulveret som komprimeres. For runde mål betyr dette at varmen først vil bevege seg rundt periferien av pulveret inne i formen, og deretter over tid til midten av materialet. Dette skaper en termisk hysterese i materialet som diffunderes til fast form, eller, enda viktigere, skaper en temperaturforskjell gjennom hele materialet under sintring. De perifere områder av det sintrede materialet utsettes for varmen som genereres av varmeelementet raskere og tilsvarende lengre enn i det sentrale området av det konsoliderte materialet. Det ytre laget pulver diffunderer og konsoliderer før pulveret i den sentrale regionen. Når disse ytre områdene begynner å konsolidere seg, øker den lokale tettheten i materialet og det lokale volumet avtar.

www.superbheater.com