Hvilke typer metallfilmer kan oppnås i PVD-prosessen for vakuumgalvanisering av elektriske varmerør?
Legg igjen en beskjed
Hvilke typer metallfilmer kan oppnås i PVD-prosessen for vakuumgalvanisering av elektriske varmerør?
Aluminium (AL), titan (Ti), titannitrid (TiN), kobolt (Co).
Vanligvis, når waferen kommer inn i PVD-maskinen, må den belegges med titan/titannitrid/aluminium/titan/titannitrid. Fem lag metall.
Kobolts funksjon er metallsilisid (silisid).
Hva er prinsippet for PVD-prosessen for vakuumgalvanisering av elektrisk varmerør?
En høy potensialforskjell legges til mellom Target og wafer. På dette tidspunktet dissosieres prosessgassen Ar til Ar pluss under den høye potensialforskjellen, og fordi Ar pluss er positivt ladet og tiltrukket av det elektriske feltet, kolliderer den med målet, noe som får målet til å produsere metallkorn som faller på grunn av tyngdekraften . Til oblaten for å danne en film. Denne prosessen er PVD.
Hva er målet med vakuumgalvanisering av elektrisk varmerør?
I PVD er målet et metallmateriale som brukes til å gi en film.
Det grunnleggende prinsippet for vakuum galvanisering elektrisk varmerør PVD belegg mål
Det grunnleggende prinsippet for fysisk dampavsetningsteknologi kan deles inn i tre prosesstrinn:
(1) Fordampingen av beleggmaterialet, det vil si fordampningen av beleggmaterialet, som ikke ligner på sputtering.
(2) Migrering av elektropletteringsatomer, molekyler eller ioner: Ulike reaksjoner skjer etter at atomer, molekyler eller ioner kolliderer.
(3) Elektropletterende atomer, molekyler eller ioner avsettes på substratet.
Vakuum galvanisering elektrisk varmerør PVD belegg mål?
Fysisk dampavsetning (PVD) er en tynnfilmprepareringsteknologi som fysisk fordamper overflaten av et mål til gassformige atomer, molekyler eller deler ionisert til ioner under vakuumforhold. Den funksjonelle filmen avsettes på overflaten av underlaget. De viktigste metodene for fysisk dampavsetning inkluderer vakuumfordampning, forstøvningsavsetning, bueplasmaplettering, ionplettering, etc. PVD-filmavsetningshastigheten er rask, sterk adhesjon, god diffraksjon og et bredt spekter av bruksområder.
www.superbheater.com
